全自動晶圓清洗機

產(chǎn) 品 說 明 特點：1.支持多尺寸晶圓:3\4\5\6\8\12英寸2.設(shè)定參數(shù)均可調(diào)整3.參數(shù)設(shè)定修改均可通過觸摸屏實現(xiàn)4.客戶模式均可自由更改5.工作盤轉(zhuǎn)速范圍：0-3000轉(zhuǎn)/分鐘性能：工作盤馬達 交流感應(yīng)馬達擺臂馬達 交流伺服馬達干燥方式 旋轉(zhuǎn)清洗方式 二流體清洗顯示 …