產(chǎn) 品 說 明 
特點(diǎn)：
1.支持多尺寸晶圓:3\4\5\6\8\12英寸
2.設(shè)定參數(shù)均可調(diào)整
3.參數(shù)設(shè)定修改均可通過觸摸屏實(shí)現(xiàn)
4.客戶模式均可自由更改
5.工作盤轉(zhuǎn)速范圍：0-3000轉(zhuǎn)/分鐘
性能：
工作盤馬達(dá)         交流感應(yīng)馬達(dá)
擺臂馬達(dá)           交流伺服馬達(dá)
干燥方式           旋轉(zhuǎn)
清洗方式           二流體清洗
顯示                5英寸觸摸屏，操作/編輯數(shù)據(jù)，顯示錯(cuò)誤信息等
操作鍵             開始/停止，緊急停止 
電源               交流220-230伏特      50/60赫茲 
壓縮空氣           0.45-0.65   兆帕