產(chǎn)品說(shuō)明:
晶圓倒膜機(jī)適合用于晶圓出貨倒膜使用,晶圓倒膜無(wú)氣泡。
規(guī)格 Specification
型號(hào) AV-DWM106 AV-DWM108 AV-DWM112
晶圓尺寸(最大) 150mm 200mm 300mm
膠膜寬度(最大) 230mm 300mm 410mm
尺寸WxDxH(mm) 430x650x380 450x900x380 510x1150x450
重 量 40KG 45KG 60KG
標(biāo)準(zhǔn)配置: 鍍PFA真空工作盤(pán),加熱工作盤(pán)
選用配置: ESD裝置、